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    “中國芯”關(guān)鍵材料國產(chǎn)化

    磷烷安全源(PH? AGS)
    • 中文名:磷烷安全源
    • 英文名:Phosphine AGS
    • CAS號:7803-51-2
    • 熔點(diǎn):-133℃
    • 沸點(diǎn):-87.7℃
    • 蒸氣壓:53.32kpa(-98.3℃)
    • 產(chǎn)品等級:5N7
    • 規(guī)格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    砷化氫(AsH?)
    • 中文名:砷化氫
    • 英文名:Arsine
    • CAS號:07784-42-1
    • 熔點(diǎn):-116℃
    • 沸點(diǎn):-62.5℃
    • 蒸氣壓:1463kPa(20℃)
    • 產(chǎn)品等級:6N、6N5
    • 規(guī)格:40L
    三氟化硼安全源(BF? AGS)
    • 中文名:三氟化硼安全源
    • 英文名:Boron Trifluoride AGS
    • CAS號:07784-42-1
    • 熔點(diǎn):-126.8℃
    • 沸點(diǎn):-100℃
    • 蒸氣壓:1013.25kPa(-58℃)
    • 產(chǎn)品等級:3N
    • 規(guī)格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    磷化氫(PH?)
    • 中文名:磷化氫
    • 英文名:Phosphine
    • CAS號:7803-51-2
    • 熔點(diǎn):-133℃
    • 沸點(diǎn):-87.7℃
    • 蒸氣壓:53.32kpa(-98.3℃)
    • 產(chǎn)品等級:6N、6N5
    • 規(guī)格:44L
    安全源砷烷(AsH? AGS)
    • 中文名:砷烷安全源
    • 英文名:Arsine AGS
    • CAS號:07784-42-1
    • 熔點(diǎn):-116℃
    • 沸點(diǎn):-62.5℃
    • 蒸氣壓:1463kPa(20℃)
    • 產(chǎn)品等級:5N5
    • 規(guī)格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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