2016 年，承接國(guó)家“02-專(zhuān)項(xiàng)”，現(xiàn)已建成具備合成、純化、分析、封裝等功能的ALD前驅(qū)體研發(fā)中心和生產(chǎn)線，完全滿(mǎn)足相關(guān)芯片產(chǎn)品的制造要求。

2017年11月，引入陶氏化學(xué)的高K三甲基鋁生產(chǎn)線，2020年10月正式投產(chǎn)，在開(kāi)發(fā)高端半導(dǎo)體的進(jìn)程中，扮演關(guān)鍵材料供應(yīng)商的重要市場(chǎng)角色。 2020年12月，跨國(guó)并購(gòu)杜邦集團(tuán)19項(xiàng)專(zhuān)利資產(chǎn)組，6項(xiàng)技術(shù)屬于全球首創(chuàng)技術(shù)，一舉邁入國(guó)際領(lǐng)先的前驅(qū)體材料企業(yè)行列。

目前，砷烷品質(zhì)己達(dá)到7N，技術(shù)居全球前列，產(chǎn)能躍居全球第一，并進(jìn)入國(guó)際一流公司供應(yīng)鏈。磷烷的技術(shù)水平也已居全球前列，產(chǎn)能為全球第二。

2019年8月，南大光電成功并購(gòu)飛源氣體，開(kāi)始布局氟系列電子特氣。依托南大光電客戶(hù)、機(jī)制和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，進(jìn)行60多項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新，迅速提升產(chǎn)能、品質(zhì)，降低成本，二年實(shí)現(xiàn)三氟化氮產(chǎn)能4000噸、六氟化硫產(chǎn)能3000噸，成本全球領(lǐng)先，產(chǎn)能?chē)?guó)內(nèi)第二、全球第三。

一是擴(kuò)展現(xiàn)有高純磷烷、高純砷烷氫類(lèi)電子特氣，進(jìn)軍氟系、硅系和硼系特種氣體；
二是持續(xù)開(kāi)發(fā)先進(jìn)純化工藝、先進(jìn)吸附劑及負(fù)壓安全吸附技術(shù)以及特種氣體廢氣處理材料，提升電子特氣產(chǎn)品純度，尤其7N級(jí)別高純磷烷砷烷、5N級(jí)別BF3等高端領(lǐng)域的應(yīng)用；
三是 “123”新奮斗目標(biāo)：在內(nèi)蒙古打造一個(gè)世界級(jí)的氟硅電子材料基地，實(shí)現(xiàn)“綠色能源+綠色制造”，以“雙綠”躋身世界；培養(yǎng)三個(gè)世界單項(xiàng)冠軍。

2019年底，公司在寧波市北侖區(qū)完成了第一條光刻膠生產(chǎn)線建設(shè)，產(chǎn)能達(dá)到10噸/年的規(guī)模， 第二條光刻膠生產(chǎn)線于2020年完成建設(shè)，總產(chǎn)能達(dá)到25噸/年。同時(shí)在國(guó)家重大科技攻關(guān)項(xiàng)目的支持下，向光刻膠配套原材料領(lǐng)域展開(kāi)技術(shù)攻關(guān)。
2020年4月，成為中國(guó)首個(gè)購(gòu)買(mǎi)ASML 193nm浸沒(méi)式光刻機(jī)的電子材料企業(yè)。
2020年底和2021年5月，193nm ArF光刻膠先后通過(guò)存儲(chǔ)和邏輯兩家芯片制造企業(yè)的驗(yàn)證，為量產(chǎn)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，成為國(guó)內(nèi)首個(gè)通過(guò)驗(yàn)證的ArF光刻膠產(chǎn)品，ArF光刻膠研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得關(guān)鍵性突破，被列為國(guó)家攻克“卡脖子”工程的標(biāo)桿。
2021年建黨100周年前夕，順利通過(guò)國(guó)家“02-專(zhuān)項(xiàng)”驗(yàn)收。