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    “中國芯”關鍵材料國產化

    稀釋劑(Thinner)
    稀釋劑(Thinner)
    • 中文名:稀釋劑
    • 英文名:Thinner
    • CAS號:107-98-2 108-65-6
    • 熔點:<-10℃
    • 沸點:121℃~140℃
    • 蒸氣壓:10.9 mm Hg(25℃)
    • 產品等級:UP級、UP-S級
    • 規格:1加侖/200L/11m3槽車
    六甲基二硅氮烷(HMDS)
    六甲基二硅氮烷(HMDS)
    • 中文名:六甲基二硅氮烷
    • 英文名:Hexamethyldisilazane
    • CAS號:999-97-3
    • 熔點:-78℃
    • 沸點:125℃
    • 蒸氣壓:20 hPa (20℃)
    • 產品等級:UP-S級
    • 規格:1加侖/200L/11m3槽車
    193nm ArF光刻膠
    193nm ArF光刻膠
    • 量產籌備中 敬請期待
    • · 193nm ArF光刻膠已通過存儲、邏輯兩家芯片制造企業驗證,成為國內首個通過驗證的ArF光刻膠產品
    • · 2021年建黨100周年前夕,順利通過國家“02-專項”驗收
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