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    “中國芯”關鍵材料國產化

    氯代叔丁烷（TBCl）
    • 英文名: 2-Chloro-2-methylpropane (簡稱TBCl）
    • 熔點: -25℃
    • 沸點: 51-52℃
    • 蒸氣壓: 0.32kPa(20℃)
    • 存儲溫度： 安全溫度≤45℃，建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    1-己烯（Hexene)
    • 英文名: 1-Hexene (簡稱Hexene）
    • 熔點: -140℃
    • 沸點: 60-66℃
    • 蒸氣壓: 413.3 hPa （37.7℃）
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃，建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Electronic Grade
    全氟癸基三氯硅烷（FDTS)
    • 英文名: 1H,1H,2H,2H-Perfluorodecyltrichlorosilane(簡稱FDTS）
    • 熔點: 無資料
    • 沸點: 224℃
    • 蒸氣壓: 無資料
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃，建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    1,2-二(三氯甲硅基)乙烷（BTCSE)
    • 英文名: 1,2-Bis(trichlorosilyl)ethane (簡稱BTCSE）
    • 熔點: 28℃
    • 沸點: 202℃
    • 蒸氣壓: 0.492mmHg at 25℃
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃，建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    叔丁基膦（TBP）
    • 英文名: Tertiarybutylphosphine (簡稱TBP）
    • 熔點: 4℃
    • 沸點: 54℃
    • 蒸氣壓: lgp(Torr) = 7.552-1529/T(K)
    • 存儲溫度: 安全溫度≤37℃
    • 產品等級: Adduct
    四氯化鉿（HfCl?)
    • 英文名: Hafnium(IV) chloride (簡稱HfCl?）
    • 熔點: 無資料
    • 沸點: 46℃
    • 升華溫度：319℃
    • 蒸氣壓: 1mm Hg(190℃)
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃，建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    三氯化鋁（AlCl?)
    • 英文名: Aluminium chloride
    • 熔點: 194℃
    • 沸點: 180℃
    • 蒸氣壓: 133.3Pa(99℃); 13.3KPa(151℃)
    • 儲存溫度：未體現
    • 產品等級: Adduct
    四（甲乙氨基）鋯（TEMAZ）
    • 英文名: Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium（簡稱TEMAZ）
    • 熔點: 無資料
    • 沸點: 81℃ (0.1hPa)
    • 蒸氣壓: 1 Torr at 70℃
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃，建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
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