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三甲硅烷基胺 (TSA)
中文名:三甲硅烷基胺
英文名:Trisilylamine
CAS號(hào):13862-16-3
用途:通過流動(dòng)化學(xué)氣相沉積(FCVD)形成氧化硅
純度指標(biāo):99.65%
規(guī)格:公斤級(jí)
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二異丙氨基硅烷 (DIPAS)
中文名: 二異丙氨基硅烷
英文名:Diisopropylaminosilane
CAS號(hào):908831-34-5
用途:形成晶種
純度指標(biāo):8N
規(guī)格:公斤級(jí)
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四氯化鈦 (Ticl?)
中文名:四氯化鈦
英文名:Titanium tetrachloride
CAS號(hào):7550-45-0
熔點(diǎn):-25℃
沸點(diǎn):135 - 136 °C
蒸氣壓:12.8 hPa 在 20 °C
產(chǎn)品等級(jí):6N
規(guī)格:15kg
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四乙氧基硅烷 (TEOS)
中文名:四乙氧基硅烷
英文名:Tetraethoxysilane
CAS號(hào):1978-10-4
熔點(diǎn):-82.49℃
沸點(diǎn):168°C
蒸氣壓:10.0 hPa 在 20℃
產(chǎn)品等級(jí):9N
規(guī)格:17.7kg、35kg、200kg
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雙(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
中文名: 雙(二乙氨基)硅烷
英文名:Bis(diethylamino)silane
CAS號(hào):27804-64-4
熔點(diǎn):<-10℃
沸點(diǎn):188℃
產(chǎn)品等級(jí):5N
規(guī)格:10kg
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六氯乙硅烷(HCDS)
中文名:六氯乙硅烷
英文名:Hexachlorodisilane
CAS號(hào):13465-77-5
沸點(diǎn):144 - 145.5℃
產(chǎn)品等級(jí):6N
規(guī)格:13kg
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八甲基環(huán)四硅氧烷 (OMCTS)
中文名:八甲基環(huán)四硅氧烷
英文名:Octamethyl cyclotetrasiloxane
CAS號(hào):556-67-2
熔點(diǎn):17-19℃
沸點(diǎn):175-176℃
蒸氣壓:1 mmHg (21.7℃)
產(chǎn)品等級(jí):7N5
規(guī)格:10kg、18kg、200kg
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四甲基硅烷 (4MS)
中文名:四甲基硅烷
英文名:Tetramethylsilane
CAS號(hào):75-76-3
熔點(diǎn):-99℃
沸點(diǎn):26-28℃
產(chǎn)品等級(jí):7N5
規(guī)格:10kg、20kg、110kg、125kg
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